深圳市恒运昌真空技术股份有限公司恒运昌 688785.SH

Shenzhen CSL Vacuum Science and Technology Co., Ltd. · 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司是国内领先的大规模集成电路晶圆前道薄膜沉积、等离子体刻蚀、光刻、去胶、离子注入及键合等设备的核心零部件供应商,主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、气体流体精密控制,真空获得与计量零部组件的设计、研发、生产、销售及技术服务。公司是国内技术领先、实现大批量产品交付的等离子体射频电源系统企业,产品批量交付国内龙头装备厂商拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等,并配套中芯国际等国内头部晶圆厂。公司成立于2013年3月,总部位于深圳市宝安区,已获得ISO9001、ISO14001体系的认证。公司是国家专精特新重点“小巨人”、国家专